Application de l'inspection aux rayons X dans l'industrie des semi-conducteurs
2023-09-01 10:00Les tests aux rayons X sont uncontrôle non destructifméthode qui n'endommage pas l'objet lui-même et qui a été largement utilisée dans les tests de matériaux (QC), l'analyse des défaillances (FA), le contrôle qualité (QC), l'assurance qualité et la fiabilité (QA/QC), la recherche et le développement (R&D) et d'autres domaines.
Il peut être utilisé pour détecter des défauts (fissures, délaminage, vides, etc.), tels que le délaminage et les fissures dans les composants électroniques, les diodes électroluminescentes, les substrats métalliques, etc., et en détectant le contraste de l'image pour déterminer s'il existe des défauts dans matériau, forme, taille, orientation, etc.
Dans l’industrie des semi-conducteurs, les équipements d’inspection aux rayons X sont couramment utilisés pour détecter la qualité des puces et des tranches, ainsi que d’éventuels défauts dans le processus de fabrication. Cela se reflète principalement dans les aspects suivants :
1. Détection des défauts dans le processus de production des plaquettes :il peut y avoir des problèmes tels que des gaz, des défauts, des corps étrangers dans le processus de production de plaquettes, etÉquipement d'inspection aux rayons X peut scanner la plaquette et détecter ces problèmes pour garantir l'efficacité de la production et la qualité de la plaquette.
2. Inspection du produit fini emballé :Le produit fini emballé constitue la prochaine étape après l’achèvement de la production des plaquettes. L'inspection aux rayons X peut scanner le produit fini et jouer un rôle important dans la détection de la forme du produit fini et de la qualité du joint de soudure afin de garantir l'intégrité et la qualité du produit fini.
3. Détection des défauts de puce :il peut y avoir des défauts dans le processus de fabrication de la puce, notamment des pixels morts, des circuits défectueux, etc. Ces défauts peuvent empêcher la puce de fonctionner correctement, donc radiographieun équipement d'inspection est nécessaire pour détecter les défauts de la puce et trouver et résoudre le problème en temps opportun.
Plus la validation des échantillons lors du conditionnement et des tests des semi-conducteurs est rapide, plus il est probable que ses produits seront rapidement mis sur le marché. Le modèle commercial d'amarrage transparent des entreprises de conception de puces et des usines de conditionnement et de test de semi-conducteurs pour la production de masse, l'externalisation de la production de masse vers de grandes usines d'emballage une fois la qualité et le rendement du produit entièrement vérifiés, et l'amarrage transparent de la production de masse aide les entreprises de puces à ne pas avoir à le faire. s'inquiéter du processus d'emballage et promouvoir de nouveaux modèles dans le domaine de l'emballage et des tests.
En tant que maillon de la chaîne industrielle de l'emballage et des tests de semi-conducteurs,Contrôles non destructifs aux rayons XLa technologie a réalisé des tests 100 % en ligne dans le domaine de l'emballage et des tests de semi-conducteurs et est devenue un moyen nécessaire pour vérifier la qualité des produits. Avec la mise à jour itérative de la nouvelle technologie des puces semi-conductrices, les tests non destructifs sont confrontés à une pression de plus en plus forte. Premièrement, les exigences en matière d’efficacité de détection sont de plus en plus élevées. Deuxièmement, la difficulté de détection a également augmenté, la technologie d'emballage précédente pouvait également voir la broche à l'œil nu, et maintenant la technologie BGA ne peut plus voir la majeure partie de la bille de soudage, seulementDétection par fluoroscopie à rayons X.
L'industrie des semi-conducteurs est bien en avance sur les autres industries, possède la capacité et les itérations technologiques les plus rapides et est depuis longtemps un mode de production invisible, la taille de la zone de couverture de l'ongle peut contenir des dizaines de milliards de transistors. La puce sera mise sur le marché avant une série de processus de validation précis et complexes, car la taille des puces est conçue pour devenir de plus en plus petite, un équipement d'inspection à rayons X avec un grossissement et une résolution élevés est requis, et une précision d'inspection est requise pour garantir que les défauts de soudure importants ne sont pas manqués.
À cette fin, la technologie d'inspection par rayons X améliore constamment la technologie, évolue dans le sens d'une haute précision et d'intelligence, et suit les nouvelles tendances et les nouvelles exigences en matière d'emballage et de test des semi-conducteurs pour répondre aux exigences de test des puces semi-conductrices.
En outre,Équipement d'inspection aux rayons Xpeut être utilisé pour inspecter les semi-conducteurs de puissance emballés de qualité automobile afin de contribuer à améliorer la cohérence du produit. Utiliser la pénétration deRayons X, il est possible d'effectuer une inspection en ligne complète à 100 % des semi-conducteurs de puissance de haute capacité sans endommager l'apparence du produit, garantissant ainsi que tous les semi-conducteurs automobiles livrés par l'usine sont exempts de défauts pendant le processus de production et améliorant la fiabilité du produit.