HRXRD est un puissantcontrôle non destructifméthode, et ses objets de recherche sont principalement des matériaux monocristallins, des matériaux à couches minces épitaxiales monocristallines et diverses hétérostructures semi-conductrices de faible dimension. Il est largement utilisé pour mesurer la qualité des monocristaux, l'épaisseur, les paramètres cellulaires et d'autres paramètres structurels des films épitaxiaux.

Le balayage 2thêta/oméga est utilisé pour détecter la diffusion cohérente de couches atomiques parallèles à la surface et peut être utilisé pour déterminer la composition de In, les paramètres de cellule hors plan, l'épaisseur et d'autres paramètres.

le modèle de balayage 2thêta/oméga du GaN (0002)cristalaffronter

pics d'oscillation évidents du super-réseau et franges d'interférence de couches minces entre les pics du super-réseau.

RSM est une méthode intuitive pour analyser les disparités entre les films minces et les substrats ainsi que les défauts des films minces. ModerneHEUREDRXl'utilisation de détecteurs 1D peut grandement améliorer la vitesse de test, l'acquisition rapide d'un RSM ne prend que quelques dizaines de secondes.

L'image est le résultat d'un ajustement à spectre complet du scan 2theta/omega. On peut voir que la carte d'ajustement est en bon accord avec les données de test. La teneur en In est un paramètre important dans le processus de croissance. HRXRD est donc un outil puissant pour surveiller le processus de dépôt.