Le générateur de rayons X est composé d'un tube à rayons X, d'un générateur haute tension, d'un circuit de stabilisation de la pression et du débit du tube et d'un circuit de protection. Nous nous concentrons ici surTubes à rayons X. L'essence du tube à rayons X est une diode à vide, la cathode est un fil de tungstène et l'anode est une tôle. Lorsqu'un courant est appliqué aux deux extrémités de la cathode, le fil de tungstène chauffe, produisant des électrons rayonnant de chaleur. Ces électrons sont accélérés sous un champ électrique à haute tension, bombardant l'anode (c'est-à-dire la cible) et produisantRayons X(ce processus génère beaucoup de chaleur, et afin de protéger la cible, il faut s'assurer du bon fonctionnement du système de circulation d'eau).

Les cibles anodiques courantes sont : Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W, la plus couramment utilisée est la cible Cu. La longueur d'onde des rayons X et la tension de fonctionnement des cibles couramment utilisées sont indiquées dans le tableau ci-dessous :