Diffraction des rayons X Cette technique est souvent utilisée pour détecter la qualité cristalline des tranches et des tranches épitaxiales. Avec cette technique de mesure, des informations telles que les constantes de phase et de réseau, la cristallinité, la densité de dislocation, la contrainte résiduelle, ainsi que la composition et l'épaisseur, peuvent être obtenues. La figure 1 montre le diagramme schématique des instruments XRD conventionnels.

Selon différentes méthodes de balayage, la figure 2 montre les degrés de liberté en rotation de la source de rayons X, du détecteur et de l'échantillon.DRX la détection dispose des méthodes de mesure suivantes :

(1) 2ème/jescanner, oùjeest généralement la moitié de 2je. Il s'agit également d'une méthode de balayage couramment utilisée pour la mesure XRD d'échantillons de poudre, également connue sous le nom de balayage symétrique ou couplé. Pour les échantillons de film très minces, le faisceau de rayons X peut être fixé à un petit angle de balayage et le détecteur se déplace dans la direction de 2jepour collecter des signaux. Une telle méthode de détection à petit angle est également appelée détection XRD à incidence rasante. La structure de phase, la déformation sous contrainte et la taille des grains de l'échantillon peuvent être obtenues par radiographie.diffractionpics balayés par 2θ/ω.

(2) Mesure du graphique polaire. Le diagramme polaire est circulaire et est généralement réalisé en coordonnées polaires avec des coordonnées radiales je et coordonnées angulairesje. Il est particulièrement adapté aux échantillons de texture de surface. Dans certains cas, une ou une série complète d'images polaires n'est pas nécessaire et peut être mesurée à l'aide d'un balayage azimutal,jeanalyse. À ce stade, les informations d'orientation hors plan doivent être déterminées à l'avance par 2je/jeBalayage, et les informations internes de la face cristalline peuvent être obtenues par mesure d'image polaire oujebalayage, afin de mieux juger de la symétrie du cristal.