L'incidence du pâturage signifie queradiographieest exposé au film sous un très faible angle d'incidence (< 5°), ce qui réduit considérablement la profondeur de pénétration dans le film. Dans le même temps, l'angle de faible incidence plus grand augmente la zone d'irradiation des rayons X sur l'échantillon et augmente le volume de l'échantillon participant à la diffraction. Le rôle du GID dans l'analyse de la structure des films minces est présenté dans cet article.
Exemple : test GID d'un film monocouche
Dans cet exemple, l'échantillon est un film polycristallin RuO2 de 14 nm préparé sur un substrat de silicium monocristallin (100). Par conséquent, le signal de l’échantillon de film mince dans le système conventionnelDRXLe motif est masqué par le signal du monocristal de Si. Bien que les pics de diffraction du film mince soient visibles sur l’image agrandie, le signal est très faible. Le spectre GID de l'échantillon à un angle incident de 0,3 degrés est illustré à la figure 2. Il n'y a aucun signal de substrat monocristallin de Si sur la figure et le signal du film est évident.
Fig. 1
Fig2