Leplatine d'échantillonnage multifonctionnelleest un équipement expérimental hautement intégré principalement utilisé dans les domaines de la science des matériaux, de la fabrication de semi-conducteurs, de l'analyse par microscopie électronique, etc. Ses principales caractéristiques sont la conception modulaire, l'intégration multifonctionnelle et le contrôle de haute précision.
un、 Les fonctions principales et les caractéristiques structurelles duplatine d'échantillonnage multifonctionnelle
1. Conception modulaire deplatine d'échantillonnage multifonctionnelle:
Plusieurs fonctions sont obtenues grâce à différentes combinaisons de modules, telles que le module d'accouplement à rotation automatique (vitesse 0 à 20 tours par minute, avec limite zéro), le module de levage (course standard 50 mm/100 mm, personnalisable), le module de chauffage (température maximale jusqu'à 1100 ℃), etc.
Prise en charge de la connexion d'alimentation CC/RF pour répondre aux besoins de croissance de films minces, de nettoyage d'échantillons ou de formation de films auxiliaires.
2. Contrôle et capteurs de haute précision pourplatine d'échantillonnage multifonctionnelle:
Équipé de capteurs de température, de pression et d'autres capteurs, d'une surveillance en temps réel des paramètres environnementaux de l'échantillon et d'un réglage du chauffage, du refroidissement et d'autres opérations via le système de contrôle.
Certains modèles intègrent des modules de déflecteurs pneumatiques pour une utilisation facile.
3. Compatibilité et adaptabilité desplatine d'échantillonnage multifonctionnelle:
Convient pour tester des échantillons irréguliers tels que des traces de poudre, des matériaux en feuille et des échantillons de grande taille, évitant les dommages causés par la découpe ou le meulage traditionnels.
Prend en charge les tailles d'échantillon inférieures à 6 pouces et les interfaces de bride personnalisables.
deux、 Domaines d'application du support d'échantillons multifonctionnel
1. Technologie des couches minces pourplatine d'échantillonnage multifonctionnelle:utilisé pour les technologies avancées de croissance de couches minces telles que le MBE (épitaxie par faisceaux moléculaires), le PLD (dépôt par laser pulsé), la pulvérisation cathodique magnétron, ainsi que le recuit de substrat, le dégazage à haute température et d'autres processus.
2. Analyse par microscopie électronique de la platine d'échantillon multifonctionnelle :
Microscope électronique à balayage à champ froid : Fixez l'échantillon avec de longues vis et ajustez la conductivité avec des rondelles en laiton compatibles.
Système TEM/FIB : intègre la délamination in situ, les tests par nanosonde et l'analyse TEM pour éviter la contamination ou les dommages causés par le transfert d'échantillons.
3. Analyse des défaillances de l'étage d'échantillonnage multifonctionnel : intégration des processus de décapage du site atomique, de test électrique et d'analyse dans les systèmes FIB et TEM pour améliorer le taux de réussite et l'efficacité.
trois、 Avantages techniques deplatine d'échantillonnage multifonctionnelle
1. Intégration et automatisation de la platine d'échantillonnage multifonctionnelle : réduit la complexité des opérations manuelles grâce à une conception modulaire, prend en charge le mouvement global et le positionnement précis dans un environnement sous vide.
2. Haute fiabilité de l'étage d'échantillon multifonctionnel : utilisation d'interfaces de bride standard (telles que CF50/CF40) pour garantir l'étanchéité et la compatibilité.
3. Personnalisation de la table d'échantillon multifonctionnelle : le matériau chauffant, la longueur de course et le type de porte-échantillon (tel que le type à baïonnette à 3 mâchoires, le type à fourche inférieure) peuvent être sélectionnés en fonction des besoins.
Globalement, la platine d'échantillonnage multifonctionnelle est un équipement essentiel pour la recherche sur les matériaux et la microanalyse, couramment utilisée dans les instruments de diffraction des rayons X. Son intérêt réside dans son intégration fonctionnelle, sa flexibilité opérationnelle et son adaptabilité à des exigences expérimentales complexes. Le choix spécifique doit correspondre aux modules et paramètres de performance correspondants, en fonction des scénarios d'application réels (tels que la technologie des couches minces, l'analyse par microscopie électronique ou l'analyse des défaillances).
