Le phénomène physique de diffusion cohérente des rayons X sur le cristal est appelé diffraction, même s'il se produit sous un angle faible. Par exemple, si une phase a une valeur ad de 31,5 A et une diffraction correspondante de 2,80° (Cu-Kα), le pic de 31,5 A est toujours très net si la phase a un degré élevé de cristallinité. Les films minces peuvent également produireDiffraction des rayons Xconcentré dans une petite plage d'angle en fonction de l'épaisseur et de la microstructure du film. Dans ces cas, l’intensité de diffusion des rayons X aux petits angles de l’échantillon provient principalement de la diffraction de l’échantillon, appelée diffraction angulaire des rayons X.

L'irradiation aux rayons X des particules de poudre ultrafines provoque également un phénomène de diffusion cohérente, qui se produit également dans la région des petits angles. Cependant, les caractéristiques du modèle de diffusion cohérente produit par les particules fines sont complètement différentes de celles des petits angles.radiographiemotif de diffraction produit par le grand espacement des faces cristallines ou par le film mince situé au-dessus.

Petit anglediffraction est généralement utilisé pour déterminer l'espacement de très grandes faces cristallines ou l'épaisseur de films minces, ainsi que la structure micro-périodique des films minces et la répartition des trous périodiques.